其實熒光光譜儀開始用于醫(yī)學成像診斷和X射線結晶學，在分析儀器方面的使用也非常好。這歸結于熒光光譜具有很高的穿透力，能透過許多對可見光不透明的物質，如墨紙、木材等。這種肉眼看不見的射線可以使很多固體資料發(fā)作可見的熒光，使照相底片感光以及空氣電離等效應。它的結構如下：

　　1、X射線管：帶薄鈹窗和端窗的X射線管，Rh靶（Pd靶可選）。

　　2、檢測器：流量氣體比例檢測器和密閉比例檢測器，10通道1024獨立脈沖高度分析儀。

　　3、真空系統(tǒng)：熒光光譜儀獨立泵站結構，維護方便。

　　4、測量室最高真空度：小于5Pa。

　　5、氣流系統(tǒng)：高精度流量空氣密度穩(wěn)定裝置，壓力穩(wěn)定性達到±0.003KPa。

　　6、分析軟件：定量分析方法有經驗系數(shù)法和理論α系數(shù)法兩種。采用全光譜檢測技術，實現(xiàn)對每條譜線的實時跟蹤校正，大大提高了定量分析的權重?？捎眯院烷L期穩(wěn)定性也為診斷儀的工作狀態(tài)提供了直觀的依據，完善的自診斷措施。內置RS-232串行通訊協(xié)議、TCP/IP協(xié)議和DCS或QCS系統(tǒng)共享數(shù)據。

　　熒光光譜儀可以對多種材料進行元素分析，包括固體、液體和松散粉末，為滿足過程控制和研發(fā)應用的苛刻要求而設計。其設計和功能可以執(zhí)行從鈹?shù)斤押推渌胤秶鷱牟坏桨偃f分之一到百分之一的準確度分析，是一款理想的材料分析儀器。